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浙江青處光電科技有限公司帶你了解，改進思路：消除灰塵源。
改善對策：
1.清潔車間的工作環境改造嚴格按照清潔車間的規范進行。
2.盡量做好環境衛生工作。盡量使用干凈的工作臺。
3.真空室周期清潔，保持清潔。
膜外白霧
現象：涂層完成后，表面有一些淡淡的白霧，用丙酮或混合物擦拭，越嚴重。可以擦掉或減少用氧化鋯粉擦拭(也稱:可擦拭壓克)
分析：膜外白霧的原因比較復雜，可能的原因有：
①膜結構問題：外膜柱狀結構松散，外膜過粗糙；
②蒸發角過大，膜結構粗糙。
③.溫差：鏡片出罩時內外溫差過大。
④水分；鏡片出罩后放置環境水分。
⑤真空室Polycold解凍時水蒸氣過重。
⑥蒸鍍充氧不完全，膜結構不均勻。
⑦膜與膜之間的應力。
改進思路：膜外白霧的原因很多，但各有特點，盡量對癥下藥。主要思路是薄膜致密光滑，不易吸附，二是改善環境，減少吸附對象。
改善對策：
1.改善膜系，外層加二氧化硅，使膜表面光滑，不易吸附。改善鏡片出罩時的環境(干燥、清潔)
2.降低鏡片溫度(延長真空室冷卻時間)，降低溫差，降低應力。
3.改善充氧(增加)和膜結構。
4.適當降低蒸發速率，改善柱狀結構。
5.離子輔助涂層，改善膜結構。
6.加上polycold解凍時的小充氣閥(其功能是及時帶走水蒸氣)
7.想辦法從蒸發源和夾具上改善蒸發角。
8.改善基板表面粗糙度。
9.注意polycold解凍時的真空度。
膜內白霧
膜內形成白霧，不能通過擦拭去除。
可能的原因：
(1).基片臟，附著前工程殘留物。
②.鏡片表面腐蝕污染。
③膜材料與膜材料之間的不匹配。
④.氧化物充氧不足。
⑤.一層氧化鋯膜可能會對某些基板造成白暈。
⑥.基片進罩前(洗凈后)受潮污染。
⑦.清洗或擦拭不良，清洗痕跡，擦拭痕跡。
⑧真空室臟，水氣過重。
⑨.環境濕度高。
